第354章 胡闻洲：回旋镖来得太快就像龙卷风

第354章 胡闻洲：回旋镖来得太快就像龙卷风 (第1/2页)

两人说话的时候。
　　
　　核心专家组的众人目光，也都带着几分期许聚焦在了林决身上。
　　
　　按理说.....
　　
　　这种事情是不该就指望林决一个人来的。
　　
　　要不然的话，不显得他们没用了吗？
　　
　　但是吧......话又说回来了。
　　
　　目前为止，林教授的方案完全没毛啊！
　　
　　确实比他们提供的好太多了！
　　
　　特别是林氏函子光学变式，在测试中的表现，完全刷新了众人对EUV多层膜误差控制的认知！
　　
　　紧接着，众人便见台上的林决轻轻一笑，
　　
　　“确实。”
　　
　　闻言，陈望山不由得笑了出来。
　　
　　至于房怀年几人，则是满脸讶异。
　　
　　这小子......还真他娘是个人才啊！
　　
　　整机闭环没跑完，你也敢提前做优化方案？
　　
　　万一中间有超出预料的事情发生，那你不白干了吗？
　　
　　不过.....
　　
　　他们不知道的是，林决早已经通过胡老的手稿，在脑海中做过工程预演。
　　
　　虽然最后他推演出来的数据，会和现实数据有着一定误差。
　　
　　但却能够清晰的看到问题在哪里......
　　
　　之后。
　　
　　等整机闭关流程结束。
　　
　　只需要通过相应的数据，再进行调整的就行。
　　
　　两边同时进行。
　　
　　还能够省下一部分时间。
　　
　　当初面对胡闻洲时，他说他会让胡老看到那台能够和世界一流水平并驾的光刻机。
　　
　　所以必须争分夺秒了。
　　
　　而现在。
　　
　　整机跑完，结果出来。
　　
　　果然......
　　
　　由于映射输出端的频率太快，在高电压情况下光路产生偏振，误差也就随之增大了......
　　
　　在得到林决回答后，卢敬尧立马好奇问着，
　　
　　“用的什么方法，压频率还是降电压？亦或者通过控制曝光来解决？”
　　
　　林决轻轻一笑，当即给否了，“都不选。”
　　
　　“？？？”
　　
　　“？？？”
　　
　　“？？？”
　　
　　蒋墨侧过头看着他，又是好奇又是疑惑，
　　
　　“都不选？那你想干啥？”
　　
　　按照他们搞了大半辈子研究的惯性思维来讲。
　　
　　目前只能调控这三个变量，然后再根据整机环境，慢慢做进一步调整。
　　
　　林决平静开口，
　　
　　“我们花了二十多天，把误差从1.2压到0.18，现在又为了高电压下的稳定性，再退回去吗！？
　　
　　我不想这样做......”
　　
　　会议室安静下来。
　　
　　所有人目光放在林决身上。
　　
　　于志明皱眉，
　　
　　“那您的意思是......”
　　
　　林决并未回答。
　　
　　只是在电脑打开一个文档，然后将把132路的驱动时序图调了出来。
　　
　　此时大屏幕上，无数表示着方波的红点全挤在一处。
　　
　　“你们看，132路同时跳会如何呢？”
　　
　　他点了下鼠标，旁边弹出三行数据。
　　
　　【电源瞬时跌落：4.3%】
　　
　　【通道间串扰：2.1%】
　　
　　【镜面局部应力：增大】
　　
　　“在这种情况中，串扰和镜面局部应力增大，会导致双折射出现，然后产生偏振，出现误差。”
　　
　　蒋墨想了想，也提出想法，“那要不将电压器错开呢？”
　　
　　陈望山很快便摇了摇头，
　　
　　“不行......错开只能解决电源和串扰，解决不了应力，因为应力是叠加态，就算错开，总应力依旧存在。”
　　
　　房怀念笑道，
　　
　　“老陈说得对，这方面蒋墨你不是专家，还是别提意见了。”
　　
　　

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