第353章 历史性的突破，光刻镜面原子级精密度杀入世界一流！

第353章 历史性的突破，光刻镜面原子级精密度杀入世界一流！ (第2/2页)

“行吧辛苦了，等会儿人到齐了，我们再测试一下。”
　　
　　“好的。”
　　
　　说罢，林决来到机器旁检查一番。
　　
　　不多时。
　　
　　陈望山，蒋墨等核心专家组成员到齐。
　　
　　又一轮测试开始了。
　　
　　林决站在指挥处，“各个工位，报一下状态。”
　　
　　“光源系统就位。”
　　
　　“真空系统就位。”
　　
　　“光路系统准备好了......”
　　
　　“132路驱动自检通过。”
　　
　　“数据采集开始，开吧。”
　　
　　“......”
　　
　　这一个月以来，众人已经跑过许多流程。
　　
　　如今已有了相当默契。
　　
　　所以只用了不到十五分钟，整机流程便完成了“开机”！
　　
　　“滴！”
　　
　　随着林决按下总开关。
　　
　　核心主机，光源系统，大型离子束抛光机，超精密光学加工机床等大型设备，开始发出工业轰鸣。
　　
　　与此同时。
　　
　　林决将本次测试核心部件，也就是132路电压驱动打开。
　　
　　在屏幕上，代表着电压值的电子光柱亮了起来。
　　
　　【函子上电中......】
　　
　　【输出正常】
　　
　　【促动阵列响应正常】
　　
　　【镜面形变进行预设范围】
　　
　　【闭环开始.....】
　　
　　随着这个提示出现。
　　
　　林决看到左上角偏振对比度开始急速拉高。
　　
　　【0.16nmRMS.....】
　　
　　【0.18nmRMS.....】
　　
　　【0.25nmRMS.....】
　　
　　这个结果，已经比之前测试的还要糟糕。
　　
　　但林决和在场众人，却未有任何慌张之感。
　　
　　因为下一刻......
　　
　　那代表着偏振对比度数值。
　　
　　又开始在零偏映射算法控制下，开始如同过山车一般骤降！！！
　　
　　【0.10nmRMS......】
　　
　　【0.11nmRMS......】
　　
　　【0.10nmRMS......】
　　
　　【0.13nmRMS......】
　　
　　机器的轰鸣依旧在继续，并且在高电压下，一些设备，甚至是在超频状态下完成负载！
　　
　　它们的服役生涯会缩短，损耗会加大，甚至在某一刻，忽然就冒出黑烟，然后报废......
　　
　　大力虽能出奇迹。
　　
　　但也是把双刃剑，在长时间强电压超频的状态下工作，会对设备本身就造成损耗。
　　
　　其直接......
　　
　　可能会是几亿，甚至十几亿以上......
　　
　　但此刻。
　　
　　那些好像都已经不太重要了！
　　
　　因为......
　　
　　整个实验室都看到了曾经想都不敢想的一组组数据！！
　　
　　这代表着，他们在镜面工艺情况落后于国外的情况下，依旧靠着算法镀膜，靠着控制电压驱动的方法......
　　
　　将反射原子级平整度精度，达到了国际标准的0.15nmRMS以内！！
　　
　　甚至从结果上来看......
　　
　　还能偶尔跑到0.10超精密优秀指标中去！
　　
　　此时此刻。
　　
　　造出5~7nm电路的镜面镀膜问题，光面平整度问题......
　　
　　第一次在这片大地上被解决了......